Een constante toevoer van kwaliteitswater is cruciaal voor de micro-elektronica industrie. Kwaliteit, kwantiteit en continuïteit zijn prioriteiten in onze waterdiensten.
Beheer en innovatie: uitdagingen voor de elektronische en fotovoltaïsche industrie
Geavanceerde en innovatieve technologieën die ultrapuur water produceren.
Afvalwaterbehandeling, terugwinning en waterrecycling en hergebruik.
Beter beheer van grondstoffen en het behoud van water.
Hoe Veolia elektronische en fotovoltaïsche klanten helpt
De fabricage van halfgeleiders omvat verschillende stappen van fotografische en chemische verwerking, waarbij elektronische schakelingen geleidelijk worden gemaakt op wafers van puur halfgeleidend materiaal. De upstream productie van silicium wafers - van het kweken van ingots tot het snijden en polijsten van wafers - is van cruciaal belang voor de kwaliteit van de eindproducten en vereist een grote hoeveelheid water met een hoge zuiverheid.
Voor het vervaardigen van een geïntegreerde circuit op een wafer van 300 mm is in totaal circa 8.328 liter water nodig, waarvan 5.678 liter ultrapuur water.
De halfgeleiderindustrie geeft elk jaar ongeveer $ 2 miljard uit aan water- en afvalwaterbehandelingssystemen.
Bron: Global Water Intelligence (2009) Pure Water, Semiconductors and The Recession
Submarkten voor elektronica en micro-elektronica, zoals TFT-LCD, harde schijven, fotovoltaïsche apparaten en printplaten (PCB's) vereisen moderne en nauwkeurige watersystemen en afvalwateroplossingen. Dit is nodig omdat water de belangrijkste potentiële verontreinigingsbron is.
De creatie van een fotovoltaïsche module doorloopt bijvoorbeeld verschillende kritische stappen, waaronder de initiële raffinage van silicium, de kristallisatie en het vormen van de platen. Naast de injectie van grote hoeveelheden water tijdens deze voorbereidende fasen, speelt water ook een cruciale rol in het maken van cellen en de uiteindelijke montage van de modules.
Aanpasbare oplossingen voor alle elektronische en fotovoltaïsche spelers
Veolia Water Technologies beschikt over veel ervaring op het gebied van waterbehandeling en is in staat om al het water in een faciliteit te verwerken; van ultrapuur water tot afvalwater, van proceswater tot recycling en hergebruik.
Onze geavanceerde technologieën zijn ontworpen om de grote uitdagingen in het fabricageproces van halfgeleiders aan te gaan.
Ultrapuur waterbehandeling
Elk onderdeel in de productie moet gewassen zijn zodat het vrij is van verontreinigingen. Hiervoor is water van de hoogste zuiverheid - ultrapuur water - nodig tijdens vele stadia van het productieproces.
Afvalwaterbehandeling
Afvalwaterstromen in de micro-elektronica industrie zijn doorgaans geconcentreerd met chemicaliën voor het etsen van koper, slijp- en blokjesslurry, net als TMAH/Ammoniak.
Hergebruik en recycling van water
Spoelwater, backgrinding en het fijnhakken van afvalwater zodat het afvalwater gerecycled en hergebruikt wordt, zorgt voor kostenefficiënte en duurzaamheid in de productielijn.
Betere opbrengst
Consistente ultrapure waterkwaliteit resulteert in een lager productafwijzingspercentage en een betere opbrengst voor onze micro-elektronica klanten.
We ondersteunen uw productie verder met onze tientallen jaren aan ervaring, een snelle responstijd en ondersteuning van onze experts in uw vakgebied, en 24/7 gegarandeerde onsite respons en mobiele noodoplossingen voor water.
Elektronische en fotovoltaïsche klanten die Veolia vertrouwen
We boden kosteneffectieve oplossingen door twee soorten water van een hoge kwaliteit te combineren en zorgden voor een constante, sterk gezuiverde en chemicaliënvrije oplossing door gebruik te maken van continue deïonisatietechnologieën.
Ontdek onze waterbehandelingstechnologieën voor de elektronische en fotovoltaïsche industrie
Om het preductierendement te verbeteren is betrouwbaar ultrapuur water van de hoogste kwaliteit cruciaal voor de micro-elektronica industrie. Naast productiedoelen stellen spelers in deze industrie hoge doelen op het gebied van duurzame ontwikkeling en hun ecologische footprint. Compacte en efficiënte afvalwaterzuiveringsoplossingen in combinatie met duurzame, toekomstgerichte oplossingen voor het terugwinnen en recyclen van water helpen deze doelen te bereiken.
Mehbub KHAN
Market Manager, Power & Microelectronics, Singapore
Veolia Water Technologies
LinkedIn Profiel
Meer diensten voor onze elektronische en fotovoltaïsche klanten
Downloads
Download onze brochure voor meer informatie over duurzaam waterbeheer voor de micro-elektronica industrie.
FAQ over wateroplossingen voor elektronische en fotovoltaïsche bedrijven
Wat is Environmental Social Governance (ESG) en waarom is het belangrijk voor de halfgeleiderindustrie?
Environmental Social Governance (ESG) gaat over deugdelijk ondernemerschap en de impact daarvan op sociale en duurzaamheidskwesties. Wanneer bedrijven ESG goed toepassen, bereiden ze zich voor op belangrijke uitdagingen zoals waterschaarste. Bedrijven passen ook ESG toe uit financieel oogpunt, omdat banken het steeds vaker als een investeringscriterium zien.
Wat zijn de essentiële behandelingsstappen voor de behandeling van ultrapuur water (UPW)?
Een ultrapuur water proces vereist doorgaans multimediafilters (MMF) en actieve koolfilters (ACF), omgekeerde osmose (RO), ontgassers, ionenuitwisseling en UV-behandeling.
Wat zijn de kenmerken van hoogwaardig ultrapuur water (UPW)?
In de elektronica- en halfgeleiderindustrie wordt de ASTM D5127 & SEMI F63 Guide voor ultrapuur water gebruikt. Daarvoor gelden de volgende aanbevolen normen:
| Test Parameter | Geavanceerde halfgeleider UPW |
|---|---|
| Weerstand (25 ℃) | >18.18 MΩ-cm |
| Totaal Organische Koolstof (on-line for <10 ppb) | <1 μg/L |
| On-line opgeloste zuurstof | 10 μg/L |
| On-line deeltjes (>0.05 μm) | <200 deeltjes/L |
| Non-Volatile Residu | 0.1 μg/L |
| Silica (totaal en opgelost) | 0.5 μg/L |
| Metalen/Boor (door ICP/MS) | |
| 22 Meest voorkomende elementen (zie F63-0213 (2) voor details) | <0.001-0.01 μg/L |
| Ionen (door IC) | |
| 7 Belangrijke anionen en ammonium (zie F63-0213 (2) voor details | 0.05 μg/L |
| Microbiologisch | |
| Bacteriën | < 1 CFU/100 ML |
Hoe verbeter je de wafer opbrengst in de micro-elektronica industrie?
De wafer opbrengst is de meest kritische parameter in de sector. Elke nieuwe technologie vereist een hogere kwaliteit ultrapuur water (UPW) en betere bewakingssystemen. Dit is nodig vanwege de aanwezigheid van "killer"-deeltjes of microverontreiniging in ultrapuur water die fysieke schade aan micro-elektronische componenten kan veroorzaken. Deze schade kan leiden tot kostbare defecten en een afgekeurde productie. Realtime monitoring en controle van kritische parameters helpt zowel UPW-ingenieurs als procesingenieurs om de correlatie tussen onzuiverheden en wafer defecten beter te begrijpen. Zo maken fabrikanten - van met name van FinFet en op nanodraad gebaseerde installaties - de transitie van het beheren van de productkwaliteit naar het beheersen ervan.
Wat zijn de essentiële behandelingsstappen binnen een PCB-afvalwaterzuiveringsproces?
Elektrolyse wordt doorgaans ingezet om opgelost CU-afvalwater te behandelen, terwijl clarificatie (met bijvoorbeeld Actiflo®) en ionenuitwisseling vaak worden ingezet voor het cheleren van CU-afvalwaterstromen. Voor organisch afvalwater maken procesingenieurs meestal gebruik van een membraanbioreactor (MBR).
Hoe zijn TMAH en ammoniak uit afvalwaterstromen te verwijderen?
TMAH en ammoniak zijn efficiënt te verwijderen door de volgende technologieën te combineren:
- Anaërobe behandeling: Upflow Anaerobic Sludge Bed (UASB) of Expanded Granular Sludge Bed (EGSB),
- Aerobe behandeling: Membraanbioreactor (MBR) of Moving Bed Biofilm Reactor (MBBR)
- Deammonificatie: Anita™ MOX-proces is een single stage ammonificatietechnologie die energieneutraal is met bewezen resultaten voor een verwijdering van meer dan 90% ammoniak en 75-85% totale verwijdering van stikstof.
Hoe kun je water terugwinnen en recyclen zonder RO-membranen?
Omgekeerde osmose-membranen (RO), die gebruikt worden in processen voor waterrecycling en -hergebruik, verbruiken meestal veel energie. Dit resulteert in een zowel hogere CAPEX als OPEX. Waterrecycling via niet-membraanprocessen is meestal goedkoper en voldoet aan bedrijfsdoelstellingen op het gebied van duurzaamheid en kostenefficiëntie. Veolia's niet-membraanoplossingen - zoals de compacte Actiflo® voorzuiveringsinstallatie, Hydrotech™ Discfilter en servicedeïonisatie - bieden zelfs tot 95% terugwinning, verbruiken extreem weinig energie en vereisen minimale chemicaliën. Dit stelt bedrijven in staat om te besparen op het energie- en chemicaliënverbruik, de noodzaak van 'clean-in-place' of chemisch verbeterde terugspoelingen te verminderen en tegelijkertijd ESG-doelstellingen te behalen.